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Evaporateur EVA 300

L’évaporateur EVA 300 de la société Alliance Concept permet la réalisation de couches minces par déposition de matériaux évaporés par effet joule  ou par canons à électrons. Il est également muni d’un plasma RF pour l’élaboration d’échantillons « simple » et la réalisation de contacts. Ce système est muni d'une pompe primaire à palettes ainsi que d'une pompe secondaire turbomoléculaire permettant d'atteindre des pressions de l'ordre de 10-7 Torr. Le porte substrat de 8 pouces de diamètre est motorisé permettant des évaporations rotatives garantissant l'homogénéité des couches.

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