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Evaporateur PLASSYS ME300

LOCALISATION : UTT - Laboratoire LNIO

L'évaporateur ME300 de la société PLASSYS est une machine destinée aux dépôts de films minces par évaporation thermique. Un courant traverse les creusets afin de faire augmenter leur température et ainsi évaporer par effet Joule leur contenu. Les particules évaporées vont se condenser sur les surfaces environnantes, dont le porte substrat fait partie. Cet évaporateur est muni d'une pompe primaire à huile Adixen équipée d'un filtre anti retour d'huile ainsi que d'une pompe turbo Leybold permettant d'atteindre des pressions de l'ordre de 3·10-7 mbar. Un moniteur à quartz permet de mesurer les épaisseurs déposées à partir de l'un des deux creusets disponibles.

Cet évaporateur est dédié aux dépôts de matériaux organiques tels que le CuPC ou l'AlQ3.

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