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Bâti de pulvérisation Intercovamex

Le bâti de pulvérisation cathodique magnétron H2 de la société Intercovamex est principalement destiné à la réalisation de couches minces d'oxydes transparents (ITO, ZnO, SiO2...). Il est doté de 3 cathodes magnétron indépendantes, d'un large (10cm) porte-substrat motorisé et d'un système de chauffage du substrat permettant d'atteindre des températures de l'ordre de 800°C.

Localisation : UTT