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Nos équipements

Site de Troyes

Nanofabrication

 
  • Nanoscribe
  • EVAP ME300
  • RIE MU400
  • EVAP MEB400
  • Four RTA/RTO
  • SEM FEG
  • MEB HITACHI
  • Bâti de pulvérisation Intercovamex
  • Photomasqueur MJB4 

Nanocaractérisation

 
  • AFM 5100 Agilent
  • Laser Femto-seconde
  • Ellipsomètre
  • Spectromètre FT RAMAN
  • Spectromètre CARY 100
  • Nettoyeur UV/Ozone
  • Microscope Droit LV100D
  • Microscope numérique Keyence VHX-1000
  • Source Super-Continuum
  • Microscope FLIM Zeiss - Becker & Hickl

Site de Reims

Nanofabrication

 
  • Four RTA/RTO
  • Evap Eva300

Nanocaractérisation

 
  • Ellipsomètre spectroscopique
  • AFM sous atmosphère contrôlée
Plus de détail sur les équipements ici : nanofabrication et nanocaractérisation.
mise à jour le 13 février 2023