Nos équipements

Site de Troyes

Nanofabrication

• MEB Eline Raith 
• EVAP ME300
• RIE MU400
• EVAP MEB400
• Four RTA/RTO
• SEM FEG TESCAN Magna
• Nanoscribe ZEISS
• Bâti de pulvérisation Intercovamex
• Photomasqueur MJB4 
• Profilomètre Bruker DektakXT
• Spin coater Suss
• Four à vide MTI Corporation

Nanocaractérisation

• AFM BRUKER ICON
• MEB HITACHI SU8030
• Laser Femto-seconde
• Ellipsomètre M-2000 J.A Woollam
• RAMAN LabRAM
• Spectromètre CARY 100
• Nettoyeur UV/Ozone
• Microscope Droit LV100D
• Microscope numérique Keyence VHX-1000
• Source Super-Continuum
• Microscope FLIM Zeiss - Becker & Hickl
• Zéta sizer MALVERN

Site de Reims

Nanofabrication

• Four de recuit rapide Jipelec Jetfirst            
• Machine de dépôt de couche mince par effet Joule VINCI Technologies PVD4      
• Machine de dépôt de couche mince par faisceau d’électrons Alliance Concept EVA300         

Nanocaractérisation

• MEB JEOL JSM-7900F    
• AFM Bioscope Bruker Catalyst    
• AFM Nanowizard    Bruker/JPK
• AFM Multimode Bruker
• AFM haute-vitesse RIBM  Sample Scan NEX – Ando Model    
• Spectrofluorimètre EDINBURGH Instruments     FLS1000    
• Spectroscopie Raman/TERS Horiba LabRAM HR Evo Nano    
• Profilomre KLA Tencor Alpha-Step IQ    
• Viscosimètre Brookfield DV-II + Pro    
• Goniomètre FIBRO System AB PG-3    
• Interféromètre optique en réflexion Ocean Optics    Nanocalc-XR            
• Mesures électriques Keysight E5270B        
• Caractérisation de nanoparticules Malvern Zetasizer (nanoZS)