L'évaporateur MEB400 de la société PLASSYS est un système permettant la réalisation de couches minces par déposition des matériaux évaporés par effet Joule mais également par faisceau d'électron. Ce système est muni d'une pompe primaire à palettes ainsi que d'une pompe secondaire turbomoléculaire permettant d'atteindre des pressions de l'ordre de 10-7 Torr. Le porte substrat de 8 pouces de diamètre est motorisé permettant des évaporations rotatives garantissant l'homogénéité des couches.
Localisation : UTT - Laboratoire L2n
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mise à jour le 22 novembre 2019
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Jérôme PLAIN - Directeur
03 25 71 84 48
Jérémie BEAL - Ingénieur
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