SEM S3500N Hitachi

Le microscope électronique à balayage S3500N de la société HITACHI est un microscope à filament de tungstène, très polyvalent du fait qu'il peut travailler à pression variable (ou vide dégradé). Ce système permet de travailler à des tensions d'accélération allant de 0,3 à 30 kV et à des courants d'émission allant de 1 pA à 0,1 μA. Il est muni d'un détecteur d'électrons secondaires permettant une résolution de 3,5nm et d'un détecteur d'électrons rétro-diffusés permettant une résolution de 5nm. Le S3500N est également muni d'une platine motorisé permettant des déplacements maximals de 100 x 50 mm. Plusieurs porte-échantillons permettent d'insoler des échantillons dont la taille atteint 10 cm. De plus, la platine est eucentrique, ce qui permet de l'incliner sous le faisceau en continuant d'imager une zone prédéfinie.

De plus, ce système est équipé  d'un détecteur de photon X et d'un système d'analyse par dispersion d'énergie (Kevex) permettant une analyse élémentaire (qualitative) des matériaux ainsi que d'un système de contrôle (NPGS-NABITY) pour la lithographie électronique.

Localisation : UTT - Laboratoire L2n