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Vous développez des systèmes de communication optique, des capteurs embarqués ou des dispositifs d'analyse spectrale ?
La plateforme nano'mat conçoit et fabrique des composants photoniques intégrés — guides d'ondes, spectromètres, sources lumineuses — sur des substrats variés, en exploitant les propriétés uniques de la lumière à l'échelle nanométrique.
Le L2n est le seul laboratoire de la région Grand Est centré sur la photonique, avec une expertise de pointe, des brevets exploités industriellement et des équipements de fabrication et de caractérisation optique complets.
| Ce que nous savons faire
Réalisation de microstructures et de réseaux sur substrats verre ou silicium par lithographie optique et gravure plasma — pour des applications en détection, filtrage spectral ou guidage de la lumière.
Dépôt contrôlé de couches métalliques et diélectriques par évaporation ou pulvérisation magnétron — antireflets, miroirs, électrodes transparentes, filtres spectraux.
Fabrication de structures tridimensionnelles complexes par lithographie deux-photons (NanoScribe) — pour des composants optiques miniaturisés ou des architectures photoniques sur mesure.
Mesure des propriétés optiques de surfaces et couches minces : ellipsométrie, spectrophotométrie UV-visible, spectroscopie Raman, microscopie FLIM.
| Équipements et savoir-faire
| Domaine | Équipements | Applications |
|---|---|---|
| Lithographie & structuration | Photomasqueur MJB4, RIE MU400 | Réseaux de diffraction, microstructures |
| Dépôt de couches minces | EVAP ME300, MEB400, Bâti pulvérisation Intercovamex | Couches antireflets, miroirs, filtres |
| Nanofabrication 3D | NanoScribe ZEISS | Composants optiques 3D, photonique sur mesure |
| Caractérisation optique | Ellipsomètre M-2000, Spectromètre CARY 100, Source Super-Continuum | Mesure propriétés optiques couches et surfaces |
| Imagerie & analyse | Microscope FLIM Zeiss, RAMAN LabRAM | Caractérisation matériaux photoniques |
| Exemples d'applications
- › Réalisation de réseaux de diffraction pour l'instrumentation photonique
- › Dépôt de couches antireflets sur substrats optiques
- › Fabrication de microstructures pour la détection et le filtrage spectral
- › Caractérisation de couches minces pour des composants optoélectroniques
- › Nanofabrication de structures 3D pour des applications en photonique embarquée
- › Mesure des propriétés optiques de matériaux fonctionnels (réflectance, transmittance, indice)
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