Nanofabrication

Procédés

Matériaux traités

Secteurs ciblés

Lithographie optique et électronique

 

Définition de motifs nanométriques par exposition UV ou par faisceau d'électrons (e-beam). La lithographie électronique permet d'atteindre des résolutions inférieures à 10 nm, pour des applications en microélectronique, photonique et capteurs.

Exemple : fabrication de réseaux métalliques nanométriques pour la détection optique.

Dépôt de couches minces

Évaporation thermique et pulvérisation cathodique (magnetron sputtering) pour déposer des couches métalliques, diélectriques ou semi-conductrices, avec un contrôle précis de l'épaisseur et de la composition.

Exemple : fabrication de microstructures polymères pour le biomédical.

Gravure et structuration plasma

Gravure sèche par ions réactifs (RIE) pour structurer vos matériaux avec une grande sélectivité. Procédé Bosch disponible pour la gravure profonde du silicium, ainsi qu'un procédé cryogénique — équipement récemment installé sur la plateforme — pour une gravure à très haute anisotropie et faible rugosité.

Exemple : prototypage de composants optoélectroniques pour le spatial et l'aéronautique.

Lithographie optique 3D submicronique à balayage laser

Fabrication additive de structures 3D par polymérisation à deux photons (NanoScribe) — le 2e équipement de ce type en France, compatible multi-résines.

Exemple : réalisation de structures 3D pour la conversion catalytique.

Procédés haute température

Four jusqu'à 1 900 °C et traitements plasma pour la croissance et le traitement de matériaux avancés : carbure de silicium, diamant, matériaux à gap large.

Exemple : développement de procédés de traitement du SiC pour l'électronique embarquée.

Chimie & fonctionnalisation de surface

Synthèse de nanoparticules métalliques par voie chimique en salle de chimie dédiée, procédés d'auto-organisation pour structurer des surfaces à l'échelle nanométrique sans lithographie, et fonctionnalisation sélective pour greffer des molécules ou des propriétés spécifiques sur un substrat.

Exemple : synthèse et fonctionnalisation de nanoparticules pour la détection optique ou la catalyse.