Vous développez des systèmes de communication optique, des capteurs embarqués ou des dispositifs d'analyse spectrale ?
La plateforme nano'mat conçoit et fabrique des composants photoniques intégrés — guides d'ondes, spectromètres, sources lumineuses — sur des substrats variés, en exploitant les propriétés uniques de la lumière à l'échelle nanométrique.
Le L2n est le seul laboratoire de la région Grand Est centré sur la photonique, avec une expertise de pointe, des brevets exploités industriellement et des équipements de fabrication et de caractérisation optique complets.
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Procédés & capacités Lithographie optique
Gravure plasma (RIE)
Dépôt couches minces
Nanofabrication 3D deux-photons
Ellipsométrie & spectrophotométrie
Spectroscopie de fluorescence & dichroïsme circulaire
Mesures basse température (< 4K) & sous champ magnétique/électrique
Intégration de nano-antennes en guides optiques
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Substrats & matériaux Verre
Silicium
Métaux (Au, Al, Ag)
Polymères photosensibles
Oxydes (ZnO, SiO2)
SOI, SiN, SiC (optique intégrée)
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Secteurs ciblés Instrumentation optique
Télécommunications
Spatial & aéronautique
LED & éclairage
Médical & diagnostic
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| Ce que nous savons faire
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Réalisation de microstructures et de réseaux sur substrats verre ou silicium par lithographie optique et gravure plasma — pour des applications en détection, filtrage spectral ou guidage de la lumière. |
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Caractérisation des propriétés optiques Mesure des propriétés optiques de surfaces et couches minces : ellipsométrie, spectrophotométrie UV-visible, spectroscopie Raman, microscopie FLIM, spectroscopie de fluorescence et dichroïsme circulaire. La plateforme dispose également de moyens de mesure en conditions extrêmes : basse température (< 4K) et sous champ magnétique ou électrique, pour l'étude des propriétés photoniques, plasmoniques et quantiques des matériaux. |
| Équipements clés
| Équipement | Capacité / résolution |
| Photomasqueur MJB4 / RIE MU400 | Structuration optique, résolution ~1 µm |
| EVAP ME300 / MEB400 | Couches optiques minces, contrôle nanométrique |
| Ellipsomètre M-2000, Spectromètre CARY 100 | Mesure des propriétés optiques de surfaces et couches |
| Microscope FLIM Zeiss, RAMAN LabRAM | Caractérisation optique de matériaux photoniques |
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