L'évaporateur ME300 de la société PLASSYS est une machine destinée aux dépôts de films minces par évaporation thermique. Un courant traverse les creusets afin de faire augmenter leur température et ainsi évaporer par effet Joule leur contenu. Les particules évaporées vont se condenser sur les surfaces environnantes, dont le porte substrat fait partie. Cet évaporateur est muni d'une pompe primaire à huile Adixen équipée d'un filtre anti retour d'huile ainsi que d'une pompe turbo Leybold permettant d'atteindre des pressions de l'ordre de 3·10-7 mbar. Un moniteur à quartz permet de mesurer les épaisseurs déposées à partir de l'un des deux creusets disponibles.
Cet évaporateur est dédié aux dépôts de matériaux organiques tels que le CuPC ou l'AlQ3.
Localisation : UTT - Laboratoire L2n
Cet évaporateur est dédié aux dépôts de matériaux organiques tels que le CuPC ou l'AlQ3.
Localisation : UTT - Laboratoire L2n
mise à jour le 20 novembre 2019
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contact.nanomat@utt.fr
Jérôme PLAIN - Directeur
03 25 71 84 48
Jérémie BEAL - Ingénieur
03 51 59 11 61
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