1. Accueil
  2. La plateforme
  3. Nos équipements
  4. Evap Eva300

Evaporateur EVA 300

L’évaporateur EVA 300 de la société Alliance Concept permet la réalisation de couches minces par déposition de matériaux évaporés par effet joule  ou par canons à électrons. Il est également muni d’un plasma RF pour l’élaboration d’échantillons « simple » et la réalisation de contacts. Ce système est muni d'une pompe primaire à palettes ainsi que d'une pompe secondaire turbomoléculaire permettant d'atteindre des pressions de l'ordre de 10-7 Torr. Le porte substrat de 8 pouces de diamètre est motorisé permettant des évaporations rotatives garantissant l'homogénéité des couches.

mise à jour le 20 novembre 2019