UVO CLEANER

Le nettoyeur UV/Ozone fonctionne comme un réacteur à plasma oxygène activé par de la lumière ultra-violette. Simple d’utilisation, ce dispositif fonctionne à la pression atmosphérique et à température ambiante. Le plasma est créé grâce à une source de lumière ultra violette. Celle-ci va être absorbée par l’oxygène présent dans l’atmosphère de la chambre de nettoyage et va se dissocier pour former de l’oxygène atomique ainsi que de l’ozone.

Cet outil sert principalement à nettoyer des surfaces contaminées par des composés organiques. Le rayonnement ultra-violet permet en effet de dissocier les composés organiques (en vapeur d’eau, dioxyde de carbone, …) qui vont se décrocher de la surface de l’échantillon et être évacués.

De plus un nettoyage à l’UV/ozone permet d’augmenter efficacement l’énergie de surface des échantillons en activant des fonctions oxygénées. Ces dernières permettent par exemple une bien meilleure adhésion entre la surface de l’échantillon et les divers polymères que l’ont vient y déposer lors des premières étapes de lithographie.